Блок управління системою Cryopump

Блок управління Cryopump System - це "мозок" всієї системи Cryopump, яка відповідає за точну регуляцію та всебічний моніторинг роботи кріопсума для забезпечення стабільної та ефективної роботи кріопсума.

Основні особливості:

• Контроль роботи: Він виконує ключове завдання запуску та зупинки кріогенного насоса, і може точно відрегулювати швидкість насоса відповідно до фактичного попиту. Регулюючи швидкість, швидкість накачування кріопсума можна гнучко контролювати для адаптації до різних вакуумних середовищ та вимог до процесу. Наприклад, на різних етапах виробництва напівпровідників попит на рівень вакууму динамічно змінюється, а блок управління може відповідно регулювати швидкість кріопсума, щоб підтримувати відповідний вакуумний стан.
• Моніторинг параметрів: Моніторинг у режимі реального часу серії ключових параметрів у системі кріопсум Cryopump безпосередньо впливає на його продуктивність, а блок управління постійно відстежує ці дані про температуру, щоб гарантувати, що обладнання працює у відповідному діапазоні температури. Після того, як параметр коливається ненормально, відповідний механізм захисту спрацьовує негайно.
• Захист безпеки: вбудований механізм захисту безпеки для забезпечення безпеки обладнання та персоналу всебічно. Коли системний тиск виявляється занадто високим, пристрій для зняття тиску швидко починає запобігти серйозним аваріям, таким як пошкодження обладнання або навіть вибух, спричинений надмірним тиском; Якщо виявлено, що струм двигуна буде перевантажений, вчасно відключіть джерело живлення, щоб уникнути спалення двигуна. У той же час він також має функції захисту від витоку та захисту від температури для створення твердої лінії безпеки для стабільної роботи системи.
• Діагностика несправностей та тривога: Інтелектуальний аналіз робочого стану кріопсуму в будь -який час, як тільки аномальна ситуація зафіксована, тип несправностей та розташування можна швидко та точно діагностувати. Наприклад, коли ефективність насосів насоса раптово падає, блок управління аналізує відповідні параметри, щоб визначити, чи не вдалося адсорбента всередині насоса або просочився трубопровід. Після підтвердження несправності звуковий та візуальний сигнал тривоги буде надісланий негайно, а інформація про несправності чітко відображатиметься на екрані дисплея, щоб нагадати оператору вчасно.